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J-GLOBAL ID：202202280065471809   整理番号：22A1148362

高感度化座屈撓みダイアフラム上圧電MEMS超音波センサの座屈撓み量と強誘電的保持特性

Buckling deflection and ferroelectric retention of piezoelectric MEMS ultrasonic sensors on buckled structures for high sensitivity

著者 (3件)： 近藤里穂 (京都工繊大) ,  末高知弥 (京都工繊大) ,  山下馨 (京都工繊大)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan (CD-ROM))
巻： 2022  ページ： ROMBUNNO.3-153  発行年： 2022年03月01日 
JST資料番号： S0653B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・ダイヤフラムMEMS超音波センサのダイヤフラム座屈高感度化に対し,撓み量>5~6μm領域における感度低下改善策の検討。
・初期撓み量の異なるダイヤフラムに10Vの電圧印加後,電気的に開放した時の撓み量時系列変化及び残留分極の測定。
・初期撓み量の大きなPZTダイヤフラムでは分極保持時間が短くなり,圧電特性が劣化していることの示唆。

シソーラス用語： ダイヤフラム ,  MEMS ,  *圧電センサ ,  *音波センサ ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  座屈 ,  たわみ ,  誘電分極 ,  強誘電性 ,  高感度
準シソーラス用語： 超音波センサ

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (1件)：

• K. Yamashita, S. Nakajima, J. Shiomi, M. Noda, P. Muralt, The 2019 IEEE ISAF-ICE-EMF-IWPM-PFM Joint Conference (F²cπ²2019), Lausanne, Switzerland, July 14-19 (2019) 1-4.

タイトルに関連する用語 (9件)： 高感度化 ,  座屈 ,  撓み ,  ダイアフラム ,  圧電 ,  MEMS ,  超音波センサ ,  撓み量 ,  保持特性