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J-GLOBAL ID：202202280439596922   整理番号：22A1210778

表面相互作用力検出型マイクロプローブによるレーザ加工微細穴の内径測定 第2報 プローブ接近方向によるプロービング精度変化の検証

Inner diameter measurement of laser-machined micro-hole by a microprobe with method of local surface interaction force detection: 2nd report, Verification of probing accuracy depending on the approach direction of the probe

著者 (5件)： 有賀正和 (富山県大) ,  伊東聡 (富山県大) ,  富岡剛大 (富山県大) ,  松本公久 (富山県大) ,  神谷和秀 (富山県大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2022  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.D03  発行年： 2022年03月02日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 前報では,物体表面で局所的に働く相互作用力の検出を利用したマイクロプローブによる直径0.1mm未満の微細穴の内径測定を行い,プローブ接近方向と微細穴表面の法線方向の不一致の増加に伴うプロービング座標の分散の増加が確認された.本研究では,マイクロプローブを用いた微細穴内径測定におけるプローブ接近方向の違いによるプロービング繰り返し性を検証した.(著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロプローブ ,  *細孔 ,  レーザ穴あけ ,  座標測定機 ,  形状測定 ,  *力 ,  内径 ,  *測定精度 ,  *微細加工
準シソーラス用語： *寸法測定精度 ,  *相互作用力 ,  *微細穴

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (4件)：

• 増沢隆久, 高増潔, 穴加工と計測の最前線, 精密工学会誌, Vol. 78, No. 6, (2012), pp. 443-447.
• 比田井洋史, 伊東翔, 戸倉和, 長澤正道, 立川茂, UVレーザによる高アスペクト比小径穴あけ加工(第1報)-ホウケイ酸ガラスへのアスペクト比 190 の穴あけ-, 精密工学会誌, Vol. 76, No. 10, (2010), pp.1161-1165.
• 伊東聡, 加藤大智, 有賀正和, 神谷一秀, 松本公久, 表面相互作用力型マイクロプローブによるレーザ加工微細穴の内径測定,精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, H02, (2021), pp. 550-551.
• S. Ito, Y. Shima, D. Kato, K. Matsumoto, K. Kamiya, Development of a Microprobing System for Side Wall Detection Based on Local Surface Interaction Force Detection, Int. J. Automation Techno., Vol. 14, No. 1, (2020), pp. 91-98.

タイトルに関連する用語 (8件)： 相互作用力 ,  マイクロプローブ ,  レーザ加工 ,  微細穴 ,  内径 ,  プローブ ,  接近 ,  検証