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J-GLOBAL ID：202202280591497019   整理番号：22A0788406

MEMS PZTマイクロミラー作動および機械的角度センシングのためのウエハレベルにおける電気光学試験ソリューション【JST・京大機械翻訳】

Electro-Optical Testing Solution at Wafer Level for MEMS PZT Micromirrors Actuation and Mechanical Angle Sensing

著者 (2件)： Bitta Alessandro Della (STMicroelectronics, AMS Group,Agrate Brianza,ITALY) ,  Rossi Marco (STMicroelectronics, AMS Group,Agrate Brianza,ITALY)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2022  号： MEMS  ページ： 515-518  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMSマイクロミラーの機械的角度のウエハレベル測定用の電気光学試験ソリューションを示し,ATE(自動試験機器)と一体化した。この解は,市販のオプトエレクトロニック部品(コリメートレーザ,ビームスプリッタなど)を用いて,電子界面上の小さな空間に統合されるように設計され,同時に2つのデバイスを試験できる。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 界面 ,  自動試験 ,  ビームスプリッタ ,  *MEMS
準シソーラス用語： *マイクロミラー , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (7件)： MEMS ,  PZT ,  マイクロミラー ,  センシング ,  ウエハレベル ,  光学試験 ,  ソリューション