文献

J-GLOBAL ID：202202281365976704   整理番号：22A0906348

固定凝集ダイヤモンド研磨パッド(FADAP)によるルーズアルミナ研磨剤支援サファイアラッピングのトライボロジー効果【JST・京大機械翻訳】

Tribological effects of loose alumina abrasive assisted sapphire lapping by a fixed agglomerated diamond abrasive pad (FADAP)

著者 (8件)： Chen Jiapeng (National Key Laboratory of Science and Technology on Helicopter Transmission, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, 210016, PR China) ,  Chen Jiapeng (Research Center for Advanced Micro-/Nano- Fabrication Materials, Shanghai University of Engineering Science, Shanghai, 201620, PR China) ,  Peng Yanan (National Key Laboratory of Science and Technology on Helicopter Transmission, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, 210016, PR China) ,  Wang Zhankui (School of Mechanical & Electrical Engineering, Henan Institute of Science and Technology, Xinxiang, 453003, PR China) ,  Sun Tao (Research Center for Advanced Micro-/Nano- Fabrication Materials, Shanghai University of Engineering Science, Shanghai, 201620, PR China) ,  Su Jianxiu (School of Mechanical & Electrical Engineering, Henan Institute of Science and Technology, Xinxiang, 453003, PR China) ,  Zuo Dunwen (National Key Laboratory of Science and Technology on Helicopter Transmission, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, 210016, PR China) ,  Zhu Yongwei (National Key Laboratory of Science and Technology on Helicopter Transmission, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing, 210016, PR China)
資料名： Materials Science in Semiconductor Processing  (Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 143  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1055A  ISSN： 1369-8001  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固定研磨パッド(FAP)と工作物の間のトライボロジー効果は,リアルタイムでFAPの自己調整プロセスを効果的に維持することができる。しかし,FAPは,ハードツープロセスセラミック材料の長期ラッピングプロセスと共に釉薬するのが容易である。本論文は,サファイアの効率的で安定したラッピングプロセスを達成するために,ゆるい研磨支援固定凝集ダイヤモンド研磨剤ラッピング(LA-FADAL)の新しい方法を提案した。固定凝集ダイヤモンドアブレシブパッド(FADAP)によるLA-FADAL試験を,ラッピングスラリー中の緩いアルミナアブレシブの粒径と体積分率を変えて行った。FADAPの加工性能に及ぼす異なるアルミナ研磨剤の影響を論じた。LA-FADALプロセスにおける材料除去機構を,FADAPによる緩いアルミナアブレシブ支援サファイアラッピングのトライボロジー効果に基づいて提案した。固定ADアブレシブの表面に埋め込まれたダイヤモンド粒と類似のサイズの緩いアルミナアブレシブは,機械的作用によって直接および効果的にサファイア材料を除去することができず,主に,ADアブレシブの自己シャープ化能力を強化し,さらにFADAPsの自己調整能力を改善するのに,FADAPを包帯する役割を果たした。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *凝集 ,  *研磨 ,  効率 ,  *ダイヤモンド ,  *ラッピング ,  *アルミナ ,  粒径 ,  釉薬 ,  断裂運動 ,  *トライボロジー ,  *研磨剤 ,  *サファイア ,  体積率
準シソーラス用語： *研磨パッド ,  材料除去 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 凝集ダイヤモンド研磨剤 ,  アルミナ研磨剤 ,  マイクロフラクチャリング ,  自己調整

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (8件)： 凝集 ,  ダイヤモンド ,  研磨パッド ,  研磨剤 ,  支援 ,  サファイア ,  ラッピング ,  トライボロジー