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J-GLOBAL ID:202202282959725707   整理番号:22A1043478

1.25kVの近単一理想因子とアバランシェ降伏電圧を有する分布分極ドープGaN p-nダイオード【JST・京大機械翻訳】

Distributed polarization-doped GaN p-n diodes with near-unity ideality factor and avalanche breakdown voltage of 1.25 kV
著者 (14件):
資料名:
巻: 120  号: 12  ページ: 122111-122111-7  発行年: 2022年 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ゼロドーパントイオン化エネルギーをもつGaNにおける分極誘起(Pi)分布またはバルクドーピングは,Mgの深いアクセプタ特性に起因する不純物ドープp-n接合における温度または周波数分散を減少でき,従って,GaNパワーデバイスが有望な見通しを提供する。Piドーピングの利点を包括的に評価する前に,理想的な接合挙動と高電圧能力を確認する必要がある。本研究では,PiドープGaNパワーp-nダイオードにおいて,ほぼ理想的な前方および逆I-V特性を実証し,線形傾斜コヒーレント歪AlGaN層を組み込んだ。Hall測定は,分極電荷の結果としてp層において8.9×1016cm-3の正孔濃度の正味増加を示した。Piドープn層において,2.5×1016cm-3の記録-低電子濃度を,1μm以上のAl_0-0.72GaNの段階的等級付けにより実現した。Piドープp-nダイオードは,接合端でのバンドギャップの増加のため,不純物ドープp-nダイオードよりも1.1と0.10V高いターンオン電圧の理想因子を有した。0.1mΩcm2の微分固有抵抗を,不純物ドープ対応物と類似のPiドープp-nダイオードから抽出した。Piドープダイオードは,約1.25kVのアバランシェ絶縁破壊電圧を示し,理想的なエッジ終端なしでも高い逆ブロッキング能力を示した。本研究は,分散Piドーピングが,優れた接合特性を維持しながら,正孔濃度を増加させるために,高電圧GaNパワーデバイスに組み込むことができることを確認する。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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