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J-GLOBAL ID：202202286050172879   整理番号：22A1210795

コヒーレント結像型構造照明顕微法における機械学習を用いた画像再構成の基礎的検討

著者 (4件)： 友藤康司 (東大) ,  門屋祥太郎 (東大) ,  道畑正岐 (東大) ,  高橋哲 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2022  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.D26  発行年： 2022年03月02日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体といった工業製品の検査等に使う光学超解像技術の一つにコヒーレント結像構造照明顕微法がある.本研究では,高分解能化のため微細基盤照明を用いた手法の実現を目指しているが,微細基板による複雑な照明分布を用いて試料の複素振幅分布を再構成するため,従来の解析的な再構成は困難である.本法では,機械学習による画像再構成の基礎的検討として,定在波照明下における試料観察について超解像能力の評価などを行った.(著者抄録)

シソーラス用語： *機械学習 ,  *画像再構成 ,  高分解能 ,  照明 ,  *光学顕微鏡 ,  *分解能 ,  超解像 ,  限界 ,  空間分解能
準シソーラス用語： 回折限界 ,  超解像技術

分類 (1件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (4件)：

• Lal A, Chunyan S, Peng X: “Structured illumination microscopy image reconstruction Algorithm” IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, Vol. X, pp. 50-63, 2016.
• 佐久間涼子, 久米大将, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲: “微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究 (第1報)”, 精密工学会学術講演会講演論文集,2018S 巻,pp153-154,2018.
• 久米大将, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲:“定在波照明を用いた表面微細加工構造の長作動距離超解像欠陥検査”, 精密工学会学術講演会講演論文集,2020S 巻,p628,2020.
• 市川廉, 久米大将, 西川正俊, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲: “微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究(第3報)”, 精密工学会学術講演会講演論文集, 2020A 巻, pp. 349-350,2020.

タイトルに関連する用語 (7件)： コヒーレント ,  結像 ,  照明 ,  顕微法 ,  機械学習 ,  画像再構成 ,  基礎的検討