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J-GLOBAL ID：202202286526990147   整理番号：22A0884757

ナノチャネル酸化チタン薄膜トランジスタの試作と評価

著者 (4件)： 山野航平 (山形大 工) ,  齋藤健太郎 ,  吉田一樹 ,  廣瀬文彦
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告(Web)  (IEICE Technical Report (Web))
巻： 121  号： 387(CPM2021 71-85)  ページ： 24-27 (WEB ONLY)  発行年： 2022年02月22日 
JST資料番号： U2030A  ISSN： 2432-6380  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,室温原子層堆積法により酸化チタン薄膜を熱酸化シリコン基板上に成膜し,ナノチャネル酸化チタン薄膜トランジスタ(TiO2TFT)を作製する。ナノチャネル化したことにより紫外光やガスに対して高感度に応答することが確認された。しかし,膜厚の違いと電気特性の関係は報告されていない。そこで,より高感度のセンサの開発に向け酸化チタンの膜厚13nm,19nmにおいてのデバイスを作製し,大気,真空,紫外光照射下での出力特性を測定する。この結果から最適な膜厚を明らかにし,高感度紫外センサへの応用を目指す。(著者抄録)

シソーラス用語： *薄膜トランジスタ ,  *化学蒸着 ,  単原子層 ,  *酸化チタン ,  マイクロチャネル ,  ナノ構造 ,  電流電圧特性

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

引用文献 (2件)：

• 清野 学, 「酸化チタン-物性と応用技術」, 日刊工業株式会社, 1983年, P53,P66~P67
• 荒川 裕則, 「色素増感太陽電池の最新技術」, 株式会社 シーエムシー, 2001年, P11~P12

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノチャネル ,  酸化チタン薄膜 ,  トランジスタ ,  試作 ,  評価