文献

J-GLOBAL ID：202202287240662372   整理番号：22A1210993

ニオブ酸リチウム単結晶を用いたX線用形状可変ミラーの開発

Development of deformable mirrors for X-ray using lithium niobate single crystals

著者 (3件)： 中林荘太 (名古屋大) ,  上松航太 (名古屋大) ,  松山智至 (名古屋大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2022  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.I04  発行年： 2022年03月02日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： X線領域では,高精度な光学素子が必要とされる。しかし,その作成難易度は限界(1nm)に到達しつつあり,これら光学素子によって乱された波面を形状可変ミラーによって修正する戦略が今後重要となる。本研究では,単結晶圧電素子であるニオブ酸リチウムを用いた極シンプルな形状可変ミラーを試作した。SPring-8にてX線波面計測を試みたところ,試作した形状可変ミラーが意図したとおり変形できることを確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： *ニオブ酸リチウム ,  単結晶 ,  *鏡 ,  圧電素子 ,  放射光施設 ,  波面 ,  *X線応用計測 ,  変形 ,  変位測定
準シソーラス用語： SPring-8 ,  *形状可変ミラー ,  形状変形

分類 (2件)： 放射線応用計測  (MC01040R) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K)

引用文献 (4件)：

• S.Matsuyama. et al, “Nearly diffraction-limited hard X-ray line focusing with hybrid adaptive X-ray mirror based on mechanical and piezo-driven deformation”, Vol.26, Issue 13, pp.17477-17486 (2018)
• 後藤拓実. 回折限界条件を満たすX線アダプティブ集光光学系の開発.OUKA,2018, https://doi.org/10.18910/69553
• 川俣昭人 他, 超高精度位置決め用単結晶圧電アクチュエータに関する研究, 精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 2006, p.878.
• S.Matsuyama. et al,”Wavefront measurement for a hard-X-ray nanobeam using single-grating interferometry”, Vol.20, Issue22, pp.24977-24986(2012)

タイトルに関連する用語 (5件)： ニオブ酸リチウム ,  単結晶 ,  X線 ,  形状可変ミラー ,  開発