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J-GLOBAL ID：202202287918476782   整理番号：22A0847704

感度が増加した二層構造MEMS熱風センサの解析的モデル【JST・京大機械翻訳】

Analytic Model of Dual-Layer-Structure MEMS Thermal Wind Sensor With Increased Sensitivity

著者 (5件)： Cao Zongyuan (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Wang Zhenjun (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Yi Zhenxiang (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Qin Ming (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Huang Qing-An (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China)
資料名： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 69  号： 3  ページ： 1341-1348  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二重層構造(DLS)マイクロ電気機械システム(MEMS)熱風センサの解析モデルを本論文で提案した。熱伝導と熱対流理論を適用して,異なる風速と方向の下で上流と下流の間の温度差を得た。有限要素法(FEM)によるシミュレーションを行い,提案モデルを検証した。DLS MEMS風センサを,2つのポリシリコン層と1つの金属層を有する市販鋳物によって製作した。パッケージ後,風センサーを,33m/sまでの風洞におけるフロント表面センシングモードに基づいて試験した。結果は,風速測定が提案したモデルと良く一致し,出力電圧の平均誤差が8mV以上であることを示した。さらに,測定された風向は,0°から360°までのベースでマークされた実際の値と共に増加し,これは確立されたモデルと整合した。さらに,平均誤差は3.7°に近く,最大値は6.38°以上であり,これはスクライビングと包装の非対称性に起因する可能性がある。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電圧 ,  熱伝導 ,  風洞 ,  有限要素法 ,  風速 ,  二重構造 ,  罫書き ,  風向 ,  非対称性 ,  *モデル ,  鋳物 ,  熱対流 ,  解析モデル ,  *MEMS
準シソーラス用語： 温度差 ,  出力電圧 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (6件)： 感度 ,  二層構造 ,  MEMS ,  熱風 ,  解析 ,  モデル