特許
J-GLOBAL ID：202203000459757234
蔓状炭素膜
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
羽場 方紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-192059
公開番号（公開出願番号）：特開2022-073816
出願日： 2020年11月02日
公開日（公表日）： 2022年05月17日
要約：
【課題】 低動作開始電圧を有し安定したIV特性をもつエミッタ用炭素膜を得ること。
【解決手段】 本エミッタ用炭素膜は蔓状で不定形に成長した炭素膜構造をもつ。この蔓の表面には棘が法線状に多数存在する。 また棘は非常に小面積の数層からなる独立したグラフェンシート群からなっている。 グラフェンシートはナノメートルの平面からなり、個々のシートには連続性は認められない。 個々のグラフェンシートは蔓に法線状に立ち混在している。 電子放射は法線状に立ったナノシート群の尖端から放射される。
【選択図】図2
請求項（抜粋）：
炭素膜のマクロ形状が蔓状を形成し、蔓状の表面に棘を多数もつことを特徴とするエミッタ用炭素膜。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5C227AA06
, 5C227AB09
, 5C227AB15
, 5C227AC08
, 5C227AD12
