特許
J-GLOBAL ID：202203004185120370
構造体、およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-074573
公開番号（公開出願番号）：特開2019-184780
特許番号：特許第7077734号
出願日： 2018年04月09日
公開日（公表日）： 2019年10月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 少なくとも一つの溝を有する基板、前記溝内に位置する金属膜、および 前記溝の側壁の一部、および前記基板の上面と接する絶縁膜を有し、 前記溝の底面は、前記基板に含まれる材料を含有する複数の突起を備え、 前記複数の突起の少なくとも一つは、1よりも大きく50以下のアスペクト比を有し、 前記絶縁膜の下端は、前記溝内において前記底面から離れ、 前記底面から前記下端までの距離は、前記複数の突起の最大高さよりも大きい構造体。
IPC (4件)：
G02B 5/18 ( 200 6.01)
, H01L 21/3205 ( 200 6.01)
, H01L 21/768 ( 200 6.01)
, H01L 23/522 ( 200 6.01)
