検出装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (6件)：蔵田昌俊 , 野河信久 , 井上正 , 峰隆司 , 河野直樹 , 金子早苗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-142618
公開番号（公開出願番号）：特開2022-038232
出願日： 2020年08月26日
公開日（公表日）： 2022年03月10日
要約：

【課題】検出の誤りを防止することができる検出装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、サンプルから磁性体を固定された被検出物を検出する検出装置は、設置部と、照射部と、検出部と、プロセッサと、を備える。設置部は、前記サンプルを添付される基板を支持する。照射部は、第1の周波数を有する照射波と前記第1の周波数と異なる第2の周波数を有する照射波を前記基板に照射する。検出部は、前記基板からの反射波又は透過波の強度を検出する。プロセッサは、前記第1の周波数を有する照射波の反射波又は透過波の第1の強度と前記第2の周波数を有する照射波の反射波又は透過波の第2の強度とに基づいて感度を算出し、前記感度に基づいてエラーを出力する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

サンプルから磁性体を固定された被検出物を検出する検出装置であって、前記サンプルを添付される基板を支持する設置部と、第1の周波数を有する照射波と前記第1の周波数と異なる第2の周波数を有する照射波を前記基板に照射する照射部と、前記基板からの反射波又は透過波の強度を検出する検出部と、前記第1の周波数を有する照射波の反射波又は透過波の第1の強度と前記第2の周波数を有する照射波の反射波又は透過波の第2の強度とに基づいて感度を算出し、前記感度に基づいてエラーを出力する、プロセッサと、を備える検出装置。

IPC (1件)：

G01N 21/41

FI (1件)：

G01N21/41 102

Fターム (11件)：

2G059AA05 , 2G059CC12 , 2G059DD01 , 2G059DD12 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE11 , 2G059HH05 , 2G059MM01 , 2G059MM05 , 2G059MM10

引用特許：

出願人引用 (8件)

測定装置および測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-021660 出願人：国立大学法人東北大学, 株式会社アドバンテスト
検出装置及び検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2017-173329 出願人：東芝テック株式会社
電磁波を用いた検出方法、及び検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-308254 出願人：独立行政法人理化学研究所, キヤノン株式会社

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