洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉竹英俊 , 有田貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-028488
公開番号（公開出願番号）：特開2019-145672
特許番号：特許第7005378号
出願日： 2018年02月21日
公開日（公表日）： 2019年08月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】洗浄槽と、前記洗浄槽の内側に、入れ子に収容される薬液槽と、前記薬液槽の下方かつ前記洗浄槽の底部に設けられ、2以上の異なる周波数の超音波を発振する複数の振動子と、前記複数の振動子をランダムに揺動する駆動装置と、を備え、前記複数の振動子は、平面視において、隣り合う振動子が発振する周波数が異なるように配列されかつ前記薬液槽の外縁部よりも内側に収められている、洗浄装置。

IPC (2件)：