特許
J-GLOBAL ID：202203012623762145
光学計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-039432
公開番号（公開出願番号）：特開2020-180980
特許番号：特許第7070614号
出願日： 2016年03月24日
公開日（公表日）： 2020年11月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数の波長成分を有する照射光を発生する光源と、 前記光源からの照射光に対して軸上色収差を生じさせるとともに、光軸の延長線上に少なくともその一部が配置される計測対象物からの反射光を受光する光学系と、 前記光学系で受光される反射光を各波長成分に分離して、前記各波長成分の光を受光する受光部と、 前記受光部における前記各波長成分の受光量に基づいて、前記光学系から前記計測対象物までの距離を算出する処理部とを備え、 前記処理部は、受光波形における、予め定められた波長を持つ複数の波長成分の各々の受光量を前記受光量の基準値と比較して、その比較の結果に基づいて、前記計測対象物までの前記距離を正常に測定できるかどうかを判定し、前記予め定められた波長を持つ複数の波長成分の数は前記距離の測定を要する計測対象物の表面の数よりも大きく、かつ、前記予め定められた波長を持つ複数の波長成分のうち少なくとも1つの波長成分の波長が前記距離の測定に用いられる計測波長とは異なる、光学計測装置。
IPC (2件)：
G01C 3/06 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
G01C 3/06 120 P
, G01B 11/00 B
