特許

J-GLOBAL ID：202203012970711410

プラズマアクチュエータ

発明者： 瀬川 武彦 ,  島 佳希 ,  石川 仁
出願人/特許権者： 国立研究開発法人産業技術総合研究所 ,  学校法人東京理科大学
代理人 (1件)： 特許業務法人鷲田国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-015708
公開番号（公開出願番号）：特開2022-118894
出願日： 2021年02月03日
公開日（公表日）： 2022年08月16日
要約：

【課題】効率良く高い推力を得ることができるプラズマアクチュエータを提供すること。 【解決手段】プラズマアクチュエータは、第1の主面および前記第1の主面の反対側に位置する第2の主面を有する誘電体層と、前記第1の主面に設けられた第1の電極と、前記第2の主面に設けられた第2の電極と、を備え、前記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧が印加されることによって、前記第1の主面に誘電体バリア放電を発生させ、当該誘電体バリア放電によって誘起流れを発生させるプラズマアクチュエータであって、前記第2の電極は、薄膜または薄板で形成され、前記第2の電極には、電極欠損部が設けられている。 【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

第1の主面および前記第1の主面の反対側に位置する第2の主面を有する誘電体層と、 前記第1の主面に設けられた第1の電極と、 前記第2の主面に設けられた第2の電極と、を備え、 前記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧が印加されることによって、前記第1の主面に誘電体バリア放電を発生させ、当該誘電体バリア放電によって誘起流れを発生させるプラズマアクチュエータであって、 前記第2の電極は、薄膜または薄板で形成され、 前記第2の電極には、電極欠損部が設けられている、 プラズマアクチュエータ。

IPC (1件)：

H05H 1/24

FI (1件)：

H05H1/24

Fターム (8件)：

2G084AA23 ,  2G084CC03 ,  2G084CC19 ,  2G084CC20 ,  2G084DD15 ,  2G084DD16 ,  2G084DD21 ,  2G084DD22

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 気流発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-097935   出願人：パナソニック株式会社
• プラズマアクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-194468   出願人：公立大学法人首都大学東京, 独立行政法人産業技術総合研究所