ミラー駆動装置、光走査制御装置及びミラー駆動方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：伊東忠重 , 伊東忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-080208
公開番号（公開出願番号）：特開2019-191227
特許番号：特許第7021435号
出願日： 2018年04月18日
公開日（公表日）： 2019年10月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ミラーの揺動に含まれるリンギング成分を有する検出信号を出力する検出部と、前記ミラーを揺動させる鋸歯状の駆動波形を生成する駆動波形生成部と、前記駆動波形に重畳させる重畳波形を生成する重畳波形生成部と、前記リンギング成分のリンギング周波数と同一又は近傍の周波数を有する周期信号を生成する周期信号生成部と、前記周期信号と前記検出信号との相関値を算出する相関値算出部と、前記リンギング成分が小さくなるように前記重畳波形の振幅を前記相関値に基づいて調整する振幅調整部とを備える、ミラー駆動装置。

IPC (2件)：