基板処理装置および基板処理方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人あい特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-104600
公開番号（公開出願番号）：特開2020-174193
特許番号：特許第7002605号
出願日： 2016年05月25日
公開日（公表日）： 2020年10月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】処理チャンバと、前記処理チャンバ内に配置されて、基板を保持する基板保持ユニットと、前記基板保持ユニットに保持されている基板の主面に向けて流体を吐出するための吐出口を有する第1のノズルと、前記第1のノズルに接続され、内部が前記吐出口に連通する薬剤流体配管を有し、前記薬剤流体配管を介して前記第1のノズルに第1の薬剤流体を供給するための第1の薬剤流体供給ユニットと、前記薬剤流体配管に分岐接続された水配管を有し、前記水配管を介して前記薬剤流体配管に水を供給するための第1の水供給ユニットと、前記薬剤流体配管に介装された薬剤流体バルブであって、前記薬剤流体配管における前記水配管の分岐接続位置よりも下流側に配置された薬剤流体バルブと、前記基板保持ユニットに保持されている基板の主面に、前記第1の薬剤流体とは種類の異なる流体である第2の薬剤流体を供給するための第2のノズルを有する第2の薬剤流体供給ユニットと、前記第1の薬剤流体供給ユニット、前記薬剤流体バルブ、前記第2の薬剤流体供給ユニットおよび前記第1の水供給ユニットを制御する制御ユニットとを含み、前記制御ユニットは、前記第1の薬剤流体を前記薬剤流体配管に供給しながら前記薬剤流体バルブを開くことにより、前記第1のノズルから前記基板保持ユニットに保持されている基板の主面に向けて前記第1の薬剤流体を吐出して、前記第1の薬剤流体を用いた処理を、前記基板保持ユニットに保持されている基板に施す第1の処理工程と、前記基板保持ユニットに保持されている基板の上方に前記第1のノズルを配置した状態かつ前記薬剤流体バルブを閉じた状態で、前記第2のノズルから前記第2の薬剤流体を、前記基板保持ユニットに保持されている基板の主面に供給して、前記第2の薬剤流体を用いた処理を、前記基板保持ユニットに保持されている基板に施す第2の処理工程と、前記第1の処理工程の実行後、かつ前記第2の処理工程の実行前において、前記薬剤流体バルブを開いた状態で、前記第1の水供給ユニットからの水を前記薬剤流体配管に供給して、前記薬剤流体配管の内部にある前記第1の薬剤流体を水で置換する第1の水置換工程とを実行する、基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (7件)：

H01L 21/304 648 G , H01L 21/304 643 A , H01L 21/304 651 A , H01L 21/304 648 K , H01L 21/304 647 Z , H01L 21/304 647 A , H01L 21/30 569

引用特許：

出願人引用 (3件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-189255 出願人：株式会社SCREENホールディングス
基板処理装置および基板処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-215258 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-165555 出願人：株式会社SCREENホールディングス

審査官引用 (3件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-189255 出願人：株式会社SCREENホールディングス
基板処理装置および基板処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-215258 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-165555 出願人：株式会社SCREENホールディングス

前のページに戻る