真空部品、これを用いた真空排気方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：堀城之 , 前島幸彦 , 村上大勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-122848
公開番号（公開出願番号）：特開2022-027577
出願日： 2021年07月28日
公開日（公表日）： 2022年02月10日
要約：

【課題】ゲッター作用によって排気を行い、最大捕獲分子数が多くかつ使用寿命の長い真空部品を得る。【解決手段】真空容器10はTiで構成される。この中心軸に沿った部分において、真空容器10の内面10Aよりも十分に小さな電極面20Aを有し中心軸に沿った中空の円筒形状の電極20が設けられている。この真空部品1においては、内部にArを導入して電極面20Aを正電位としてDC放電を発生させる第1の状態、Arを導入せずに電極面20Aを接地電位とする第2の状態、内部にArを導入して電極面20Aを負電位としてDC放電を発生させる第3の状態、のいずれかを実現することができる。この真空部品1による排気は、第2の状態において行われる。また、電極を用いずに400°C以下の加熱をする状態を実現することでも真空部品1による排気が行われる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

チタン(Ti)によるゲッター効果による排気能力を有する真空部品であって、厚さが100μm以上でありTiを含むTi層を具備する真空容器を具備し、表面にTi酸化物が形成されない前記Ti層、又は前記Ti層の上に直接形成された、厚さが1nm以下、又は表面酸素濃度が20atomic%以下とされたTi酸化物層、が前記真空容器の内面に露出した状態とされて、排気する対象となる真空チャンバを排気することを特徴とする真空部品。

IPC (3件)：

F04B 37/04 , H01J 37/18 , F04B 37/16

FI (3件)：

F04B37/04 , H01J37/18 , F04B37/16 Z

Fターム (6件)：

3H076AA24 , 3H076BB21 , 3H076BB24 , 3H076BB26 , 3H076CC55 , 5C101CC04

引用特許：

出願人引用 (2件)

国際公開2018/097325号
画像表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-055670 出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (1件)

画像表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-055670 出願人：キヤノン株式会社

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