特許
J-GLOBAL ID：202203019650021240
濾過フィルター及び濾過方法、並びにリソグラフィー用薬液精製品の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
棚井 澄雄
, 松本 将尚
, 宮本 龍
, 飯田 雅人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-192131
公開番号（公開出願番号）：特開2021-073091
特許番号：特許第7004858号
出願日： 2016年09月29日
公開日（公表日）： 2021年05月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 隣接した球状セル同士が連通した多孔質構造を有し、極性基を含む構成単位(ap)を有する高分子化合物(A1)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)と、有機溶剤成分(S)とを含有するレジスト組成物を濾過するために用いられる、濾過フィルター(ただし、アニオン交換基を有する多孔質膜で構成されたフィルター及びカチオン交換基を有する多孔質膜で構成されたフィルターを除く)。
IPC (4件)：
B01D 61/14 ( 200 6.01)
, B01D 69/00 ( 200 6.01)
, B01D 71/06 ( 200 6.01)
, G03F 7/039 ( 200 6.01)
B01D 61/14 500
, B01D 69/00
, B01D 71/06
, G03F 7/039 601
