分析システム及びイオン流路部洗浄方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人磯野国際特許商標事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-078452
公開番号（公開出願番号）：特開2019-184521
特許番号：特許第7015726号
出願日： 2018年04月16日
公開日（公表日）： 2019年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】イオンが流れるイオン流路部と、前記イオン流路部を流れてきた前記イオンを分析する分析部と、前記イオン流路部と、前記分析部との間に設置され、所定の空間を有する接合部と、前記接合部の内部を排気する排気部と、前記接合部に設けられ、前記イオン流路部を介して、前記接合部へ流入した洗浄物質が、前記分析部へ流れるのを防止する流動防止部と、を有することを特徴とする分析システム。

IPC (2件)：