検出装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (6件)：蔵田昌俊 , 野河信久 , 井上正 , 峰隆司 , 河野直樹 , 金子早苗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2020-142615
公開番号（公開出願番号）：特開2022-038231
出願日： 2020年08月26日
公開日（公表日）： 2022年03月10日
要約：

【課題】被検出物が引き寄せられた領域に適切に電磁波を照射することができる検出装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、設置部と複数の磁力発生部と照射部と調整部と検出部とプロセッサとを備える。設置部は、基板を支持する。複数の磁力発生部は、互いに発生する磁力が異なる。照射部は、前記基板に電磁波を照射する。調整部は、前記電磁波によって前記基板に形成されるビームスポットのビーム径を調整する。検出部は、前記基板からの反射波又は透過波の強度を検出する。プロセッサは、前記複数の磁力発生部から、規定量のサンプルに含まれる被検出物を引き寄せるために用いる磁力発生部を選択し、前記調整部に、ビーム径を選択された前記磁力発生部に対応するビーム径に調整させ、前記検出部を用いて前記規定量のサンプルが添付されている前記基板からの反射波又は透過波の強度を取得し、前記強度に基づいて前記規定量のサンプルに含まれる被検出物の量を検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を支持する設置部と、互いに発生する磁力が異なる複数の磁力発生部と、前記基板に電磁波を照射する照射部と、前記電磁波によって前記基板に形成されるビームスポットのビーム径を調整する調整部と、前記基板からの反射波又は透過波の強度を検出する検出部と、前記複数の磁力発生部から、規定量のサンプルに含まれる被検出物を引き寄せるために用いる磁力発生部を選択し、前記調整部に、ビーム径を選択された前記磁力発生部に対応するビーム径に調整させ、前記検出部を用いて前記規定量のサンプルが添付されている前記基板からの反射波又は透過波の強度を取得し、前記強度に基づいて前記規定量のサンプルに含まれる被検出物の量を検出する、プロセッサと、を備える検出装置。

IPC (1件)：

G01N 21/41

FI (1件)：

G01N21/41 102

Fターム (12件)：

2G059AA01 , 2G059AA05 , 2G059BB04 , 2G059CC12 , 2G059DD01 , 2G059DD12 , 2G059DD13 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059HH05 , 2G059KK01 , 2G059LL10

引用特許：

出願人引用 (1件)

検出装置及び測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2018-048497 出願人：東芝テック株式会社

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