研課題
J-GLOBAL ID:202204000404376073
研究課題コード:14539011
高性能低損失ボディ短絡型自己バイアスチャネルダイオードの開発研究
実施期間:2014 - 2015
実施機関 (1件):
研究責任者:
(
, 工学部, 准教授 )
研究概要:
解析シミュレーションによりCr-SBDに比べて,低損失となるの最適デバイス構造を推定し,デバイスシミュレーションによりCr-SBDより高耐圧を確認した。また,パターンを作成し,ドーピング条件をシミュレーションして試作した。しかしながら,試作プロセスの一部を他企業に委託する必要が生じ,1次試作が終了したばかりで,評価と分析が不十分である。 試作デバイスの電気的特性をプローブで評価し,順方向の低電流領域でCr-SBDより低損失動作を確認した。しかし,耐圧と電力損失は目標には達していない。今後,構造分析とシミュレーションの合わせこみを十分に行って,試作研究を続行してデバイスを開発したい。
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