特許
J-GLOBAL ID:202303006358655100

振幅計測装置及び振幅計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 三好 秀和 ,  高橋 俊一 ,  伊藤 正和 ,  高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2021-121704
公開番号(公開出願番号):特開2023-017431
出願日: 2021年07月26日
公開日(公表日): 2023年02月07日
要約:
【課題】レイテンシーを低減することが可能な振幅計測装置及び振幅計測方法を提供する。 【解決手段】周期波形の低周波成分を除去するハイパスフィルタ41と、ハイパスフィルタ41を通過した低域除去信号を二乗する第1の二乗回路45と、低域除去信号を微分する微分器43を有する。微分器43を通過した波形を二乗する第2の二乗回路46と、第1の二乗回路45の出力信号と、第2の二乗回路の出力信号を加算する加算器47を備える。 【選択図】 図3
請求項(抜粋):
原子間力顕微鏡に用いられるカンチレバーに発生する周期波形の振幅を計測する振幅計測装置であって、 前記周期波形の低周波成分を除去するハイパスフィルタと、 前記ハイパスフィルタを通過した低域除去信号を二乗する第1の二乗回路と、 前記低域除去信号を微分する微分器と、 前記微分器を通過した波形を二乗する第2の二乗回路と、 前記第1の二乗回路の出力信号と、前記第2の二乗回路の出力信号を加算する加算器と、 を備えたことを特徴とする振幅計測装置。
IPC (2件):
G01Q 60/32 ,  G01Q 20/02
FI (2件):
G01Q60/32 ,  G01Q20/02

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