特許

J-GLOBAL ID：202303007417844627

力覚センサ

発明者： 田名網 克周 ,  林 美由希 ,  金森 義明 ,  岡谷 泰佑
出願人/特許権者： 新東工業株式会社 ,  国立大学法人東北大学
代理人 (1件)： 弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2022-027127
公開番号（公開出願番号）：特開2023-123198
出願日： 2022年02月24日
公開日（公表日）： 2023年09月05日
要約：

【課題】設計時に定めた所望の応答特性を得ることができる力覚センサを提供すること。 【解決手段】力覚センサ(10)は、第1基板(11)と、主面(111)に設けられたメタサーフェスパターン(14)と、メタサーフェスパターン(14)を覆う保護層(15)と、第1基板(11)と対向するように設けられた第2基板(12)と、第2主面(121)に設けられた反射層(16)と、第1基板(11)と第2基板(12)との間隔(G)を規定するスペーサ(13)と、を備えている。 【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透光性を有する第1基板と、 前記第1基板の第1主面に設けられたメタサーフェスパターンと、 透光性を有し、且つ、前記メタサーフェスパターンを覆う保護層と、 前記第1基板と対向するように設けられた第2基板であって、前記第1主面に対向する第2主面を含む第2基板と、 前記第2主面に設けられた反射層と、 前記第1基板と前記第2基板との間隔を規定するスペーサと、を備えている、 ことを特徴とする力覚センサ。

IPC (1件)：

G01L 1/24

FI (1件)：

G01L1/24 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 金属・誘電体・金属の3層構造を有する光変調構造体、その製造方法及び用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2018-234473   出願人：国立大学法人東北大学