特許

J-GLOBAL ID：202303008549075505

力覚センサモジュール

発明者： 田名網 克周 ,  林 美由希 ,  金森 義明 ,  岡谷 泰佑
出願人/特許権者： 新東工業株式会社 ,  国立大学法人東北大学
代理人 (1件)： 弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2022-059543
公開番号（公開出願番号）：特開2023-150436
出願日： 2022年03月31日
公開日（公表日）： 2023年10月16日
要約：

【課題】メタサーフェスパターンが静電破壊される可能性を低減すること。 【解決手段】力覚センサモジュール(10)は、透光性を有する第1基板(11)と、第1主面(111)に設けられたメタサーフェスパターン(14)と、第1基板(11)と対向するように設けられた第2基板(12)であって、第1主面(111)に対向する第2主面(121)を含む第2基板(12)と、第2主面(121)に設けられた反射層(16)と、第1主面(111)に設けられた導電性材料製のスペーサ層(13)と、第2主面(121)とスペーサ層(13)とを接合する接合層(18)と、スペーサ層(13)に接続されたグランド配線(22)と、を備えている。 【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透光性を有する第1基板と、 前記第1基板の第1主面に設けられたメタサーフェスパターンと、 前記第1基板と対向するように設けられた第2基板であって、前記第1主面に対向する第2主面を含む第2基板と、 前記第2主面に設けられた反射層と、 前記第1主面に設けられた導電性材料製のスペーサ層と、 前記第2主面と前記スペーサ層とを接合する接合層と、 前記スペーサ層に接続されたグランド配線と、を備えている、 ことを特徴とする力覚センサモジュール。

IPC (2件)：

G01L 1/24 ,  G01L 1/26

FI (2件)：

G01L1/24 Z ,  G01L1/26 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 金属・誘電体・金属の3層構造を有する光変調構造体、その製造方法及び用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2018-234473   出願人：国立大学法人東北大学