特許

J-GLOBAL ID：202303013160065176

表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法

発明者： 伊藤 昭芳 ,  大澤 博和 ,  福島 寿昭 ,  松井 洋一 ,  菊田 真基 ,  明石 卓也 ,  張 精 ,  遠藤 良峻 ,  山本 優 ,  田中 誠温
出願人/特許権者： トヨタ自動車東日本株式会社 ,  国立大学法人岩手大学
代理人 (2件)： 藤木 博 ,  吉川 まゆみ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-196063
公開番号（公開出願番号）：特開2023-082350
出願日： 2021年12月02日
公開日（公表日）： 2023年06月14日
要約：

【課題】欠陥候補の移動軌跡が曲線状であっても高い精度で欠陥を判定することができる表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法を提供する。 【解決手段】撮影手段20と被検査面Mとを相対的に移動させながら任意の時間ごとに撮影手段20により撮影した複数の画像から欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手段40と、欠陥候補抽出手段40により抽出した欠陥候補に基づき欠陥を検出する欠陥検出手段50とを備える。欠陥検出手段50は、被検査面Mを複数の区画に区切り、撮影手段20により撮影された撮影時刻の異なる基準判定数以上の画像について、被検査面Mの同一の区画に対応する各区画画像領域に、欠陥候補抽出手段40により抽出された欠陥候補がそれぞれ存在する場合に、欠陥であると判定する。 【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被検査面に光を照射する光源と、 前記光源により照射された前記被検査面を撮影して画像を得る撮影手段と、 前記撮影手段に対する前記被検査面の位置を相対的に移動させる移動手段と、 前記移動手段により前記撮影手段と前記被検査面とを相対的に移動させながら任意の時間ごとに前記撮影手段により撮影した複数の画像から欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手段と、 前記欠陥候補抽出手段により抽出した欠陥候補に基づき欠陥を検出する欠陥検出手段とを備え、 前記欠陥検出手段は、前記被検査面を複数の区画に区切り、前記撮影手段により撮影された撮影時刻の異なる基準判定数以上の画像について、前記被検査面の同一の区画に対応する各区画画像領域に、前記欠陥候補抽出手段により抽出された欠陥候補がそれぞれ存在する場合に、欠陥であると判定する ことを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/88

FI (1件)：

G01N21/88 Z

Fターム (9件)：

2G051AA89 ,  2G051AB12 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EB01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2019-010687   出願人：トヨタ自動車東日本株式会社, 国立大学法人岩手大学, 国立大学法人福井大学

審査官引用 (1件)

• ワークの表面欠陥検出装置及び検出方法、ワークの表面検査システム並びにプログラム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2019-182090   出願人：コニカミノルタ株式会社