特許
J-GLOBAL ID:202003019315621956

表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 藤木 博 ,  吉川 まゆみ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2019-010687
公開番号(公開出願番号):特開2020-118572
出願日: 2019年01月24日
公開日(公表日): 2020年08月06日
要約:
【課題】被検査面の移動速度が一定でない、または移動軌跡が直線とならない場合でも、精度よく欠陥を検出することができる表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法を提供する。【解決手段】表面欠陥検査装置1は、撮像手段20と被検査面とを相対的に移動させながら任意の時間ごとに撮像手段20により撮像した複数の画像から欠陥を検出する欠陥検出手段40を備える。欠陥検出手段40は、撮像時刻の異なる複数の画像から欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手段42と、抽出された欠陥候補において、撮像時刻の異なる少なくとも2枚以上の画像間での移動距離及び移動角度が、被検査面に欠陥が存在した時に移動すると想定される基準移動距離及び基準移動角度の範囲内にある場合に、欠陥であると判定する判定手段43とを有する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
光を照射した被検査面を撮像手段により撮像すると共に、前記撮像手段に対する前記被検査面の位置を相対的に移動させて、撮像時刻の異なる複数の画像を取得する撮像手順と、 前記撮像手順により得られた撮像時刻の異なる複数の画像からそれぞれ欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手順と、 前記欠陥候補抽出手順において抽出された欠陥候補について、撮像時刻の異なる少なくとも2枚以上の画像間での移動距離及び移動角度が、前記被検査面に欠陥が存在した時に移動すると想定される基準移動距離及び基準移動角度の範囲内にある場合に、欠陥であると判定する判定手順と を含むことを特徴とする表面欠陥検査方法。
IPC (1件):
G01N 21/89
FI (1件):
G01N21/89 Z
Fターム (14件):
2G051AA89 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CD07 ,  2G051DA06 ,  2G051DA15 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051EB05 ,  2G051ED05 ,  2G051ED08
引用特許:
審査官引用 (4件)
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