特許

J-GLOBAL ID：202303018192335061

正方晶系薄膜構造体

発明者： 西尾 隆宏 ,  藏 裕彰 ,  伊藤 啓太 ,  高梨 弘毅 ,  市村 匠 ,  柳原 英人
出願人/特許権者： 株式会社デンソー ,  国立大学法人東北大学 ,  国立大学法人 筑波大学
代理人 (1件)： 弁理士法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2022-125090
公開番号（公開出願番号）：特開2023-027013
出願日： 2022年08月04日
公開日（公表日）： 2023年03月01日
要約：

【課題】より特性の優れた構造の正方晶系薄膜構造体を提供する。 【解決手段】(110)面方位の主表面を少なくとも一部に有し、立方晶もしくは正方晶系に属する結晶構造を有した支持基板10と、支持基板10における(110)面方位の主表面上に形成され、主表面に接する面内において一軸の面内配向を有する正方晶系薄膜20と、を備える。 【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

(110)面方位の主表面を少なくとも一部に有し、立方晶もしくは正方晶系に属する結晶構造を有した支持基板(10)と、 前記支持基板における(110)面方位の前記主表面上に形成され、前記主表面に接する面内において一軸の面内配向を有する正方晶系薄膜(20)と、を有している、正方晶系薄膜構造体。

IPC (6件)：

H01F 10/28 ,  H01F 10/14 ,  H10N 50/10 ,  G11B 5/706 ,  G11B 5/65 ,  H01F 1/06

FI (6件)：

H01F10/28 ,  H01F10/14 ,  H01L43/08 Z ,  G11B5/706 ,  G11B5/65 ,  H01F1/06 180

Fターム (16件)：

5D006BB01 ,  5D006BB05 ,  5D006BB06 ,  5D006BB07 ,  5E040AA11 ,  5E040AA19 ,  5E040BD05 ,  5E040CA01 ,  5E040CA06 ,  5E049AA01 ,  5E049AA07 ,  5E049BA01 ,  5E049BA06 ,  5E049CB01 ,  5E049DB04 ,  5F092AB01