特許

J-GLOBAL ID：202303020876778498

力覚センサ及び力覚センサの製造方法

発明者： 田名網 克周 ,  林 美由希 ,  金森 義明 ,  岡谷 泰佑
出願人/特許権者： 新東工業株式会社 ,  国立大学法人東北大学
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  大森 鉄平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2022-027048
公開番号（公開出願番号）：特開2023-123155
出願日： 2022年02月24日
公開日（公表日）： 2023年09月05日
要約：

【課題】金属アレイ及び金属層の酸化を抑制する。 【解決手段】力覚センサは、電磁波を透過する材料で構成され、周期的なパターンで配列された金属アレイを表面に有する第一基板と、第一基板と向かい合うように間隔を空けて配置され、第一基板を透過した電磁波を反射する金属層を表面に有する第二基板と、第一基板と第二基板とを接続すると共に金属アレイ及び金属層を収容する内部空間を画成する接続部材と、内部空間に充填される不活性物質とを備える。 【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電磁波を透過する材料で構成され、周期的なパターンで配列された金属アレイを表面に有する第一基板と、 前記第一基板と向かい合うように間隔を空けて配置され、前記第一基板を透過した電磁波を反射する金属層を表面に有する第二基板と、 前記第一基板と前記第二基板とを接続すると共に前記金属アレイ及び金属層を収容する内部空間を画成する接続部材と、 前記内部空間に充填される不活性物質と、 を備える、力覚センサ。

IPC (1件)：

G01L 1/24

FI (1件)：

G01L1/24 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 金属・誘電体・金属の3層構造を有する光変調構造体、その製造方法及び用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2018-234473   出願人：国立大学法人東北大学