特許
J-GLOBAL ID:202403005858107053
測定装置および測定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
青木 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2023-011084
公開番号(公開出願番号):特開2024-106689
出願日: 2023年01月27日
公開日(公表日): 2024年08月08日
要約:
【課題】 ノイズ成分を抑制して測定精度を高くする測定装置および測定方法を得る。
【解決手段】 被測定場が測定用磁気共鳴部材1には印加されるが参照用磁気共鳴部材1Rには印加されない。高周波磁場発生器2,2Rは、測定用マイクロ波および参照用マイクロ波で測定用磁気共鳴部材1および参照用磁気共鳴部材1Rの電子スピン量子操作をそれぞれ行う。パワーディバイダー11aは、高周波電源11からの高周波電流を高周波磁場発生器2,2Rに分配する。光分配器21は、発光装置12からの励起光を測定用磁気共鳴部材1および参照用磁気共鳴部材1Rに分配する。受光装置13,13Rは、測定用磁気共鳴部材1および参照用磁気共鳴部材1Rからの蛍光をそれぞれ受光して蛍光センサー信号をそれぞれ生成する。演算処理部30は、それらの蛍光センサー信号に基づいて測定値を導出する。
【選択図】 図1
請求項(抜粋):
測定用マイクロ波で電子スピン量子操作の可能であって、被測定場が印加される測定用磁気共鳴部材と、
所定の測定シーケンスに従って前記測定用マイクロ波で前記測定用磁気共鳴部材の電子スピン量子操作を行う測定用高周波磁場発生器と、
参照用マイクロ波で電子スピン量子操作の可能であって、前記被測定場が印加されない参照用磁気共鳴部材と、
前記所定の測定シーケンスに従って前記参照用マイクロ波で前記参照用磁気共鳴部材の電子スピン量子操作を行う参照用高周波磁場発生器と、
前記測定用マイクロ波および前記参照用マイクロ波のための高周波電流を生成する高周波電源と、
前記高周波電流を前記測定用高周波磁場発生器および前記参照用高周波磁場発生器に分配するパワーディバイダーと、
前記測定用磁気共鳴部材および前記参照用磁気共鳴部材に照射すべき励起光を出射する発光装置と、
前記励起光を前記測定用磁気共鳴部材および前記参照用磁気共鳴部材に分配する光分配器と、
前記測定用磁気共鳴部材により前記励起光に対応して発せられる蛍光を受光し、受光した前記蛍光の強度に対応する第1蛍光センサー信号を生成する測定用受光装置と、
前記参照用磁気共鳴部材により前記励起光に対応して発せられる蛍光を受光し、受光した前記蛍光の強度に対応する第2蛍光センサー信号を生成する参照用受光装置と、
前記第1蛍光センサー信号および前記第2蛍光センサー信号に基づいて測定値を導出する演算処理部と、
を備えることを特徴とする測定装置。
IPC (4件):
G01R 33/24
, G01N 24/00
, G01N 21/64
, G01R 33/032
FI (4件):
G01R33/24
, G01N24/00 P
, G01N21/64 Z
, G01R33/032
Fターム (11件):
2G017AA03
, 2G017AA14
, 2G017AA15
, 2G017AC09
, 2G017AD15
, 2G017BA03
, 2G017BA05
, 2G043AA03
, 2G043CA05
, 2G043EA01
, 2G043NA01
引用特許:
出願人引用 (1件)
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センサ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2018-022459
出願人:国立研究開発法人産業技術総合研究所, 昭和オプトロニクス株式会社
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