特許
J-GLOBAL ID:202403009469432440

試料観察台および試料計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森下 賢樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2022-175241
公開番号(公開出願番号):特開2024-066035
出願日: 2022年11月01日
公開日(公表日): 2024年05月15日
要約:
【課題】ナノ計測において、試料ステージの熱膨張または熱収縮を抑制しつつ、試料を加熱または冷却することのできる試料観察台を提供する。 【解決手段】試料91を加熱または冷却可能なナノ計測用の試料観察台1は、試料91を加熱または冷却する温度調整素子11と、試料91を設置する試料ステージ21と、温度調整素子11と試料ステージ21との間にはさんで設置された、熱伝導性および柔軟性を持つ熱媒体31と、を備える。熱媒体31の熱伝導率は、試料ステージ21の熱伝導率より高い。 【選択図】図1
請求項(抜粋):
試料を加熱または冷却可能なナノ計測用の試料観察台であって、 試料を加熱または冷却する温度調整素子と、 前記試料を設置する試料ステージと、 前記温度調整素子と前記試料ステージとの間にはさんで設置された、熱伝導性および柔軟性を持つ熱媒体と、 を備え、 前記熱媒体の熱伝導率は、前記試料ステージの熱伝導率より高いことを特徴とする試料観察台。
IPC (6件):
G01N 1/28 ,  G01Q 30/10 ,  G02B 21/28 ,  G02B 21/30 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28
FI (6件):
G01N1/28 W ,  G01Q30/10 ,  G02B21/28 ,  G02B21/30 ,  H01J37/20 A ,  H01J37/28 X
Fターム (24件):
2G052AA40 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052DA26 ,  2G052DA33 ,  2G052EB11 ,  2G052EB12 ,  2G052EB13 ,  2G052GA01 ,  2G052GA31 ,  2G052HC02 ,  2G052HC17 ,  2G052HC22 ,  2G052HC42 ,  2G052JA02 ,  2G052JA08 ,  2G052JA11 ,  2G052JA15 ,  2G052JA27 ,  2H052AD23 ,  2H052AD24 ,  5C101AA02 ,  5C101BB04 ,  5C101FF16
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 走査型プローブ顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-020621   出願人:セイコーインスツルメンツ株式会社

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