特許
J-GLOBAL ID:202403009469432440
試料観察台および試料計測装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
森下 賢樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2022-175241
公開番号(公開出願番号):特開2024-066035
出願日: 2022年11月01日
公開日(公表日): 2024年05月15日
要約:
【課題】ナノ計測において、試料ステージの熱膨張または熱収縮を抑制しつつ、試料を加熱または冷却することのできる試料観察台を提供する。
【解決手段】試料91を加熱または冷却可能なナノ計測用の試料観察台1は、試料91を加熱または冷却する温度調整素子11と、試料91を設置する試料ステージ21と、温度調整素子11と試料ステージ21との間にはさんで設置された、熱伝導性および柔軟性を持つ熱媒体31と、を備える。熱媒体31の熱伝導率は、試料ステージ21の熱伝導率より高い。
【選択図】図1
請求項(抜粋):
試料を加熱または冷却可能なナノ計測用の試料観察台であって、
試料を加熱または冷却する温度調整素子と、
前記試料を設置する試料ステージと、
前記温度調整素子と前記試料ステージとの間にはさんで設置された、熱伝導性および柔軟性を持つ熱媒体と、
を備え、
前記熱媒体の熱伝導率は、前記試料ステージの熱伝導率より高いことを特徴とする試料観察台。
IPC (6件):
G01N 1/28
, G01Q 30/10
, G02B 21/28
, G02B 21/30
, H01J 37/20
, H01J 37/28
FI (6件):
G01N1/28 W
, G01Q30/10
, G02B21/28
, G02B21/30
, H01J37/20 A
, H01J37/28 X
Fターム (24件):
2G052AA40
, 2G052AD32
, 2G052AD52
, 2G052DA26
, 2G052DA33
, 2G052EB11
, 2G052EB12
, 2G052EB13
, 2G052GA01
, 2G052GA31
, 2G052HC02
, 2G052HC17
, 2G052HC22
, 2G052HC42
, 2G052JA02
, 2G052JA08
, 2G052JA11
, 2G052JA15
, 2G052JA27
, 2H052AD23
, 2H052AD24
, 5C101AA02
, 5C101BB04
, 5C101FF16
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
走査型プローブ顕微鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-020621
出願人:セイコーインスツルメンツ株式会社
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