特許
J-GLOBAL ID：200903000278005602

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
安藤 和徳

安藤 和徳 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-020621
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222582
出願日： 2002年01月29日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、試料の表面温度を測定、特に測定する場所を移動してもそれに合わせて表面温度を測定することを可能とする。【解決手段】 先端に微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバーの変位を検出する手段と試料を加熱冷却する手段と試料を移動させる試料移動手段からなる走査型プローブ顕微鏡において、試料の表面温度を測定する手段と表面温度測定手段を移動させる手段を有し、試料表面上の測定ポイント近傍の表面温度を表面温度を測定する手段により測定するようにした。
請求項（抜粋）：
先端に微小な探針を有するカンチレバーと、該カンチレバーの変位を検出する手段と、試料を加熱冷却する手段と、試料を移動させる手段を有する走査型プローブ顕微鏡において、試料の表面温度を測定する表面温度測定手段と、該表面温度測定手段を移動させる手段を有し、前記探針の試料との接触位置近傍の試料表面温度と、表面形状、あるいは表面物性を測定することを特徴とする、走査型プローブ顕微鏡。
IPC (6件)：
G01N 13/10 ,  G01K 1/14 ,  G01K 7/02 ,  G01K 7/16 ,  G01N 13/16 ,  G01N 19/00
FI (6件)：
G01N 13/10 D ,  G01K 1/14 L ,  G01K 7/02 Z ,  G01K 7/16 Z ,  G01N 13/16 B ,  G01N 19/00 B
Fターム (1件)：
2F056CL06
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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