特許
J-GLOBAL ID:202403011868578518
フォトニック結晶面発光レーザ素子
発明者:
,
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出願人/特許権者:
,
代理人 (3件):
吉田 雅比呂
, 高野 信司
, デロイトトーマツ弁理士法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2023-055413
公開番号(公開出願番号):特開2024-142980
出願日: 2023年03月30日
公開日(公表日): 2024年10月11日
要約:
【課題】高い注入効率を有し、低閾値及び高効率で発光するフォトニック結晶面発光レーザ素子を提供する。
【解決手段】下ガイド層と、下ガイド層上に形成され、格子点の各々に2次元的に配置された空孔を有するフォトニック結晶層、及び、フォトニック結晶層上に形成されて空孔を閉塞する埋込層と、を有する第1のガイド層と、埋込層上に形成され、埋込層とは結晶組成の異なる半導体からなるヘテロ半導体層と、ヘテロ半導体層上に形成された活性層と、活性層上に形成された第2のガイド層と、を有し、埋込層にはn形ドーパントが1.0×10
17
~1.0×10
20
cm
-3
の濃度でドーピングされている。
【選択図】図1A
請求項(抜粋):
下ガイド層と、
前記下ガイド層上に形成され、格子点の各々に2次元的に配置された空孔を有するフォトニック結晶層と、前記フォトニック結晶層上に形成されて前記空孔を閉塞する埋込層と、を有する第1のガイド層と、
前記埋込層上に形成され、前記埋込層とは結晶組成の異なる半導体からなるヘテロ半導体層と、
前記ヘテロ半導体層上に形成された活性層と、
前記活性層上に形成された第2のガイド層と、を有し、
前記埋込層にはn型ドーパントが1.0×10
17
~1.0×10
20
cm
-3
の濃度でドーピングされている、フォトニック結晶面発光レーザ素子。
IPC (3件):
H01S 5/185
, H01S 5/11
, H01S 5/343
FI (3件):
H01S5/185
, H01S5/11
, H01S5/343 610
Fターム (17件):
5F173AB53
, 5F173AB90
, 5F173AF38
, 5F173AF58
, 5F173AH22
, 5F173AJ13
, 5F173AK08
, 5F173AK20
, 5F173AL07
, 5F173AL13
, 5F173AL14
, 5F173AP05
, 5F173AP17
, 5F173AP33
, 5F173AP37
, 5F173AP42
, 5F173AR23
引用特許:
出願人引用 (3件)
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紫外線発光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2020-147116
出願人:旭化成株式会社
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特許第6192378号公報
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WO2021/186965 A1号公報
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