特許
J-GLOBAL ID：202403013923332470
合成ダイヤモンドの製造方法およびセンサ素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
弁理士法人三枝国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2023-010113
公開番号（公開出願番号）：特開2024-106047
出願日： 2023年01月26日
公開日（公表日）： 2024年08月07日
要約：
【課題】合成ダイヤモンドに混入する不純物を抑制する。
【解決手段】化学気相堆積法により合成ダイヤモンドを製造する方法であって、反応容器内に原料ガスを導入する導入ステップと、原料ガスを化学的に活性化する活性化ステップと、を含み、活性化ステップを行う間の反応容器内の圧力は、15kPa以上大気圧以下である。
【選択図】図7
請求項（抜粋）：
化学気相堆積法により合成ダイヤモンドを製造する方法であって、
反応容器内に原料ガスを導入する導入ステップと、
前記原料ガスを化学的に活性化する活性化ステップと、
を含み、
前記活性化ステップを行う間の前記反応容器内の圧力は、15kPa以上大気圧以下である、合成ダイヤモンドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
4G077AA03
, 4G077BA03
, 4G077DB07
, 4G077DB19
, 4G077EA04
, 4G077EA06
, 4G077HA20
, 4K030AA09
, 4K030AA17
, 4K030BA28
, 4K030FA01
, 4K030JA05
, 4K030JA09
