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J-GLOBAL ID：200901029340771490
Update date: Aug. 31, 2022
KINOSHITA Haruhisa
キノシタ ハルヒサ | KINOSHITA Haruhisa
Affiliation and department：
Other affiliations (1)：
-
Shizuoka University
Graduate School of Integrated Science and Technology Department of Engineering - Electrical and Electronic Engineering Course
Homepage URL (1)：
http://splasma.elac.jp/
Research field (1)：
Electric/electronic material engineering
Research keywords (4)：
Photovoltaic Cell
, Field Emitter
, a-CNx:H Film
, Supermagnetron Plasma
Research theme for competitive and other funds (6)：
MISC (160)：
Books (11)：
-
Applied Process Technology of High-Density Plasma
Realize Inc. 1993
-
高密度プラズマ応用プロセス技術(共著)
(株)リアライズ社 1993
-
Applied Process Technology of High-Density Plasma
Realize Inc. 1993
-
プラズマ材料科学ハンドブック(共著)
(株)オーム社 1992
-
実用ドライエッチング技術(共著)
(株)リアライズ社 1992
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Lectures and oral presentations (13)：
-
Al膜上に堆積したSiO2/a-CNx:H多層膜からの電界電子放出
(第62回応用物理学会春季学術講演会 2016)
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電界放出用a-CNx:H/Al多層膜のスーパーマグネトロンプラズマCVD
(第76回応用物理学会学術講演会 2015)
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スーパーマグネトロンプラズマによる電界放出用2層a-CNx:H膜の作製
(第61回応用物理学会春季学術講演会 2014)
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スーパーマグネトロンプラズマによる電界放出用a-CNx:H 膜の作製
(電気関係学会東海支部連合大会 2013)
-
Chemical Vapor Deposition of a-CNx:H Films for Electron Field Emission using Band Supermagnetron Plasma
(The 26th Sypmosium on Plasma Science for Materials 2013)
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Education (4)：
- - 1982 Shizuoka University
- - 1982 Shizuoka University Graduate School, Division of Electronic Science and Technology
- - 1976 Nagoya University School of Science
- - 1976 Nagoya University Faculty of Science
Professional career (1)：
Work history (1)：
- Shizuoka University Faculty of Engineering - Department of Electrical and Electronic Engineering Associate Professor
Association Membership(s) (1)：
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