Tanaka Shuji | Researcher Information

Tohoku University

2022 - 2025 2+1マスMEMS共振子による新たなモード制御法の研究と高性能センサーへの適用
2021 - 2023 Temperature Compensation of Silicon MEMS Resonators by Multiple Doping
2018 - 2021 Stable / Reliable Sensing and Precise Control of Piezoelectric Thin Film Actuators
2018 - 2020 Study on On-site Recovery of Integrated Circuit Failed by Gamma Ray Irradiation
2015 - 2017 Development of high density and accuracy tactile device using MEMS technology

2014 - 2016 Readout Technology of MEMS Sensors Installed in High Temperature Environments

2013 - 2016 Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS

2012 - 2014 Study on low-temperature and high-rate deposition technology of ZnSe for the application to infrared sensor arrays

2007 - 2011 Massive Parallel Electron Beam Lithography System

2008 - 2010 Super-low Friction Mechanisms of Tribo-coating Films and its Application to Space Mechanisms

2006 - 2010 Research of a nano-energy system creation

2008 - 2009 高感度マイクロセンサのためのマイクロ磁気冷凍機の開発

2007 - 2008 ナノメカニカル・単電子トランジスタによるナノセンシング

2005 - 2006 生産性の高いシリコンのウェット垂直エッチング

2004 - 2006 RF MEMS device based on micromachining

2004 - 2005 SiCモールドを用いたマイクロ非球面ガラスレンズのプレス加工に関する研究

2002 - 2003 微小空間における燃焼の制御・利用に関する研究

2001 - 2003 Distributed Micro-Nanomachines which move with nanometer precision

2000 - 2003 高効率近接場光源の開発と応用

2001 - 2002 Development of molding technologies to create microstructures on glass and plastic and analysis of phenomena in the process.

2000 - 2002 10nm-orderd 33D structures for bio-mechanical handling

2000 - 2001 超小形人工衛星・惑星探査機用マイクロスラスタに関する研究

2000 - 2001 Manufacturing of Thermoelectric Microdevices

2000 - 2001 Micro/Nanomachined Device for High-density Data Storage

1998 - 2000 Ultra Sensing Using Highly Precise Micromachining

1998 - 2000 Joint Research on Micro Fluid Control System

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Takuma Sekiguchi, Shinya Yoshida, Yoshiaki Kanamori, Shuji Tanaka. Epitaxial P_b(Z_r,T_i)O₃-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Fabricated on Silicon-On-Nothing (SON) Structure. 2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). 2023
Muhammad Jehanzeb Khan, Yukio Suzuki, Tianjiao Gong, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka. Mems Resonator Vacuum-Sealed by Silicon Migration and Hydrogen Outdiffusion. Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). 2023. 2023-January. 661-664
Andrea Vergara, Takashiro Tsukamoto, Weileun Fang, Shuji Tanaka. Design and fabrication of non-resonant PZT MEMS micromirror with buried piezoresistors for closed loop position control. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2022. 33. 1. 014001-014001
Ziyi Liu, Shinya Yoshida, David A. Horsley, Shuji Tanaka. Fabrication and characterization of row-column addressed pMUT array with monocrystalline PZT thin film toward creating ultrasonic imager. Sensors and Actuators A: Physical. 2022. 342. 113666-113666
Muhammad Salman Al Farisi, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka. Electroplated Al Press Marking for Wafer-Level Bonding. Micromachines. 2022. 13. 8. 1221-1221

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江刺正喜, 田中秀治. LSI上MEMSによるヘテロ集積化. エレクトロニクス実装学会誌. 2017. 20. 6. 372-375
田中秀治. MEMS業界の動向 ~ MEMS & Sensors Executive Congress 2016も踏まえて ~. 次世代センサ. 2017. 27. 1. 18-21
田中秀治. スマート社会に求められるMEMS. 自動化推進. 2017. 46. 1. 2-6
田中秀治. IoT社会の中でのMEMS. 日本機械学会誌. 2016. 119. 506-509
Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka. Stacked integration of MEMS on LSI. Micromachines. 2016. 7. 8. 137

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弾性表面波式センサ
センサ装置およびその製造方法
圧力センサとその製造方法
偏光解消素子及び偏光解消装置
シート状触覚センサシステム

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先端部材への応用に向けた最新粉体プロセス技術
シーエムシー出版 2017
精密加工と微細構造の形成技術
技術情報協会 2013
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用
シーエムシー出版 2012
IC Guide Book 2, 未来を創る!半導体
電子情報技術産業協会 2012
2011 マイクロマシン/MEMS技術大全
電子ジャーナル 2011

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博士(工学) (The University of Tokyo)

2019 - 現在 General Chair
2017/06 - 現在 IEEE Member, International Steering Committee of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)
2017/06 - 現在 IEEE Member, International Steering Committee of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)
2015/04 - 現在 IEEE Member, Steering Committee of IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)
2015/04 - 現在 IEEE Member, Steering Committee of IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)

2013/04 - 現在日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門運営委員

2013/04 - 現在日本機械学会日本機械学会論文集アソシエイトエディタ

2013/04 - 現在日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門運営委員

2013/04 - 現在日本機械学会日本機械学会論文集アソシエイトエディタ

2012/10 - 現在 IEEE Member, Technical Program Committee of IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)

2012/07 - 現在日本学術振興会弾性波素子技術第150委員会委員

2012/05 - 現在 IEEE Member, Technical Program Committee of IEEE International Frequency Control Symposium (IFCS)

2012/04 - 現在文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業微細加工プラットフォーム共同代表

2011/10 - 現在電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文委員

2011/10 - 現在超音波エレクトロニクス協会超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム (USE) 論文委員

2011/10 - 現在電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文委員

2011/10 - 現在超音波エレクトロニクス協会超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム (USE) 論文委員

2009/06 - 現在 IEEE Member, Technical Program Committee Member of International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)

2008/04 - 現在応用物理学会集積化MEMS技術研究会委員

2008/04 - 現在電気情報通信学会周波数制御・選択に係るMEMSデバイスの評価方法に関する標準化委員会(TC49/WG12) 委員

2008/04 - 現在応用物理学会集積化MEMS技術研究会委員

2008/04 - 現在電気情報通信学会周波数制御・選択に係るMEMSデバイスの評価方法に関する標準化委員会(TC49/WG12) 委員

2021 - 2022 2022 IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems General Chair

2017/10 - 2021 IEEE Vice-chair, Group 4 Chair, Technical Program Committee of IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)

2018/04 - 2019/03 日本機械学会代表会員

2017/01 - 2019/01 IEEE Member, Technical Program Committee of IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2018-2019)

2017/04 - 2018/03 The Japan Society of Mechanical Engineers President of Micro-Nano Science and Technology Devision

2017/04 - 2018/03 応用物理学会集積化MEMSシンポジウム実行委員長

2017/04 - 2018/03 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門部門長

2017/04 - 2018/03 応用物理学会集積化MEMSシンポジウム実行委員長

2017/04 - 2018/03 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門部門長

2012/04 - 2018 MEMS Engineer Forum Project Leader, Organizing Committee of MEMS Engineer Forum (MEF)

2015/06 - 2017/06 IEEE Member, Executive Technical Program Committee of 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017)

2016/04 - 2017/03 The Japan Society of Mechanical Engineers President-elect. of Micro-Nano Science and Technology Devision

2016/04 - 2017/03 応用物理学会集積化MEMSシンポジウム論文委員長

2016/04 - 2017/03 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門副部門長

2016/04 - 2017/03 応用物理学会集積化MEMSシンポジウム論文委員長

2016/03 - 2017/03 IEEE Member, Technical Program Committee of 4th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (Inertial 2017)

2016/03 - 2017/03 IEEE Member, Technical Program Committee of 1st IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM 2017)

2016/03 - 2017/03 IEEE Member, Technical Program Committee of 4th IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (Inertial 2017)

2016/03 - 2017/03 IEEE Member, Technical Program Committee of 1st IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM 2017)

2015/08 - 2016/08 IEEE Member, Organizing Committee of 16th IEEE International Conference on Nanotechnology (NANO 2016)

2015/04 - 2016/04 IEEE General Chair, 11th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS 2016)

2013/04 - 2015/03 電気学会 E部門役員

2012/04 - 2014/03 電気学会代議員

2011/06 - 2013/06 IEEE Member, Executive Technical Program Committee of 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013)

2007/02 - 2012/03 日本機械学会マイクロエネルギー研究会幹事

2010/10 - 2011/10 IEEE Member, Organizing Committee of IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS 2011)

2008/01 - 2010/01 IEEE Member, Technical Program Committee of IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2009-2010)

2007/11 - 2008/11 PowerMEMS 2018 Chair, Technical Program Commitee of The 8th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2018)

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2019/11 - 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門部門賞研究功績賞
2019/06 - 総務省「電波の日」表彰東北総合通信局長表彰
2018/01/01 - IEEE IEEE Fellow for contributions to micro-electromechanical systems for acoustic wave devices, physical sensors, and power generation
2017/03/16 - 応用物理学会応用物理学会第8回集積化MEMSシンポジウム優秀論文賞厚いAu膜の面内高周波フィードスルーを用いたAu-Au接合気密封止MEMSパッケージング技術
2017/02/04 - IOP Publishing Outstanding Reviewer Awards 2016, Journal of Micromechanics and Microengineering

2016/10/26 - 電気学会電気学会第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀技術論文賞表面実装型集積化MEMSのためのレーザー消去CMOS-LSIマルチプロジェクトウェハへの深いTSVの作製

2016/10/26 - 電気学会電気学会第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀ポスター賞シーソ電極型触覚センサとセンサプラットフォームLSIの積層実装デバイスの作製と動作検証

2015/10/30 - 電気学会電気学会平成27年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会優秀論文発表賞真空蒸着Eu(TTA)3薄膜を用いた赤外線熱イメージングセンサー

2015/10/30 - 電気学会電気学会第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム優秀技術論文賞酸化防止層にSnを用いた低温Al-Al熱圧着ウェハレベル真空封止接合の研究

2015/10/30 - 日本機械学会 Best Poster Award, The 7th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS Hirayanagi and S. Tanaka, Vapor Chamber Type Micro Thermal Diode

2015/10/28 - 日本機械学会日本機械学会 2014年度年次大会マイクロ・ナノ工学部門優秀講演論文表彰光パターニング可能な感温塗料をもちいた赤外線熱イメージングデバイスの開発

2015/09/14 - 日本機械学会日本機械学会機械材料・材料加工部門部門一般表彰 (優秀講演論文部門)

2013/08/24 - The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS Outstanding Poster Award TiCuNi metallic glass thin films for biomedical applications

2012/06/19 - ドイツ科学・イノベーションフォーラム東京, 在日ドイツ商工会議所 German Innovation Award, Gottfried Wagener Prize Wireless Communication and Sensing Devices Based on Wafer-level Hetero-integration Technology

2011/10/07 - 22nd European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis, ESREF 2011 Best Paper Award Outgassing study of thin films used for poly-SiGe based vacuum packaging of MEMS

2011/06/08 - The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers ’11 Outstanding Paper Award INTEGRATION AND PACKAGING TECHNOLOGY OF MEMS-ON-CMOS TACTILE SENSOR FOR ROBOT APPLICATION USING MOLDED THICK BCB LAYER AND BACKSIDE-GROOVED ELECTRICAL CONNECTION

2009/05/29 - レーザー学会レーザー学会進歩賞積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発

2009/05/27 - 電気学会第65回電気学術振興賞(論文賞) Debris-Free Laser-Assisted Low-Stress Dicing for Multi-Layered MEMS - Separation Method of Glass Layer -

2009/04/14 - 文部科学省平成21年度科学技術分野の文部科学大臣表彰若手科学者賞マイクロエネルギー源の研究

2007/05/23 - 財団法人みやぎ産業科学振興基金研究奨励賞

1999/07/06 - Microprocesses and Nanotechnology Conference MNC '98 Award for Outstanding Paper Printing Sub-100 Nanometer Features Near-field Photolithography

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IEEE , 電気学会 , 応用物理学会 , 日本機械学会