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J-GLOBAL ID：201602220816307659   Reference number：16A0868149

IoT社会の中でのMEMS

Author (2)： TANAKA SHUJI (東北大 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 マイクロシステム融合研究開発セ) ,  TANAKA SHUJI (日本機械学会)
Material： 日本機械学会誌  (Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers)
Volume： 119  Issue： 1174  Page： 506-509  Publication year： Sep. 05, 2016 
JST Material Number： F0228A  ISSN： 0021-4728  CODEN： NKGKA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *MEMS ,  *sensor ,  society ,  *data analysis ,  acoustic resonator ,  filter ,  *smartphone ,  radio transmission ,  selectivity ,  *microphone ,  speed sensor ,  *gyroscope ,  automobile ,  *automatic operative method ,  image sensor ,  *GPS
Semi thesaurus term： *GPS ,  FBAR ,  *internet of things ,  laser range finder ,  piezoelectric thin film ,  acceleration sensor ,  inertial sensor ,  frequency selectivity

JST classification (1)： Research and development  (QA01040P)

Reference (5)：

• 三宅常之,IoTに印刷の力,日経エレクトロニクス,2016年2月号,(2016),26-32.
• 田中秀治,MEMSはもうかる「IEEE MEMS 2016」学会報告,日経テクノロジーオンライン,2016年1月28日 http://techon.nikkeibp.co.jp/atcl/news/16/012800356/
• TSensors http://www.tsensorssummit.org/
• 田中秀治,MEMSセンサー,集積化手法に新潮流,日経テクノロジーオンライン,2015年6月29日 http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20150629/425362/
• 田中秀治,チップ上にフーコー振子-高性能MEMSジャイロ自動運転などに向けて開発が進む,日経テクノロジーオンライン,2015年7月17日 http://techon.nikkeibp.co.jp/article/COLUMN/20150717/428300/

Terms in the title (3)： IoT ,  社会 ,  MEMS