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J-GLOBAL ID：200901085399662560
Update date: Apr. 17, 2024
Watanabe Junji
ワタナベ ジュンジ | Watanabe Junji
Affiliation and department：
Job title：
Professor
Research field (2)：
Material fabrication and microstructure control
, Manufacturing and production engineering
Research keywords (2)：
精密計測
, 精密加工
Research theme for competitive and other funds (8)：
- 紫外光応用精密加工の研究
- 表面評価技術の研究
- オプト・エレクトロニクス部品の精密加工の研究
- 半導体基板の超精密加工の研究
- Application of photon energy in precision machining of solid materials
- Study on Processed Surface Evaluation Technology
- Precision Processing of Micro Deviees Used for Opto-Electronics
- Precision Machining of Semiconductor Materials with Mechanical and Chemical Technology
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MISC (154)：
Books (5)：
-
砥粒加工技術のすべて
(社)砥粒加工学会 2006
-
砥粒加工技術のすべて(共著)
工業調査会 2006
-
超精密加工の基礎と実際(共著)
日刊工業新聞社 2006
-
CMPの実践的基礎技術
2004
-
生産加工の原理
日刊工業新聞社 1998
Works (17)：
-
超LSI用Cu膜平坦化電解研磨技術の研究
2006 - 2007
-
ダイヤモンド単結晶の紫外光応用研磨技術の開発
2005 - 2006
-
SiC半導体結晶の超精密加工技術の研究
2005 - 2006
-
平成18年度大学発事業創出実用化研究開発事業「ダイヤモンド単結晶の光触媒による超精密研磨技術と装置の開発」
2006 -
-
半導体プロセス用CMPスラリーに関する技術の開発
2005 -
ｍore...
Education (4)：
- - 1968 Osaka University
- - 1968 Osaka University Graduate School, Division of Engineering
- - 1966 Osaka University School of Engineering
- - 1966 Osaka University Faculty of Engineering
Professional career (2)：
- Master of Engineering
- Doctor of Engineering
Committee career (6)：
- 2001 - 砥粒加工学会 理事
- 1998 - 日本学術振興協会結晶加工と評価技術第145委員会 委員
- 1995 - 精密工学会 論文査読委員
- 日本学術振興会結晶加工と評価技術第145委員会 委員
- 砥粒加工学会 会誌編集委員
- 精密工学会 会誌編集委員
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Awards (7)：
Association Membership(s) (6)：
日本機械学会
, 日本応用物理学会
, 日本学術振興協会結晶加工と評価技術第145委員会
, 日本学術振興会結晶加工と評価技術第145委員会
, 砥粒加工学会
, 精密工学会
