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J-GLOBAL ID：200902000644834710   Reference number：90A0881882

Development of a quiver stage using a parallel link.(2).System configuration and control characteristic.

パラレルリンクを用いた微動ステージの開発 (第2報) システム構成と制御特性

Author (5)： TOMITA YOSHIYUKI (住友重機械工業) ,  KODAIRA KAZUO (住友重機械工業) ,  KOHARIGAWA YASUSHI (住友重機械工業) ,  SATO FUMIAKI (住友重機械工業) ,  ITO KAZUHIRO (住友重機械工業)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1990  Issue： Autumn 3  Page： 1053-1054  Publication year： Sep. 1990 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： parallel connection ,...
Semi thesaurus term： model

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (6)： パラレルリンク ,  微動 ,  ステージ ,  開発 ,  システム構成 ,  制御特性