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J-GLOBAL ID：200902003458362778   Reference number：91A0927924

Design and Characteristics of High Pulse Repetition Rate and High Average Power Excimer Laser Systems.

高パルス繰返し速度及び高平均出力のエキシマレーザシステムの設計と特性

Author (4)： SENTIS M L (Univ. Aix-Marseille, Marseille, FRA) ,  DELAPORTE P (Univ. Aix-Marseille, Marseille, FRA) ,  FORESTIER B M (Univ. Aix-Marseille, Marseille, FRA) ,  FONTAINE B L (Univ. Aix-Marseille, Marseille, FRA)
Material： IEEE Journal of Quantum Electronics  (IEEE J Quantum Electron)
Volume： 27  Issue： 10  Page： 2332-2339  Publication year： Oct. 1991 
JST Material Number： H0432A  ISSN： 0018-9197  CODEN： IEJQA7  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： excimer laser ,...

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JST classification (1)： Gas lasers  (BD04040E)

Terms in the title (5)： パルス ,  繰返し速度 ,  平均 ,  エキシマレーザ ,  設計