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J-GLOBAL ID：200902004070795792   Reference number：91A0765561

Structure and Wear of TiN Films Formed by Dynamic Mixing Process.

ダイナミックミキシング法により形成したTiN膜の構造と摩耗

Author (2)： NAKASHIMA SHOICHI (日立 日立研) ,  CHIGASAKI MITSUO (日立 日立研)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 42  Issue： 9  Page： 923-927  Publication year： Sep. 1991 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： vacuum deposition ,...

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JST classification (2)： Vapor plating  (WC08022K) ,  Ceramic coating to metallic materials  (YC02050V)

Reference (14)：

• 1) 唐岩正人, 水野正明, 馬場茂, 金原粲; 真空, 29, 400 (1986)
• 2) 金森周一; 真空, 29, 418 (1986)
• 3) D. E. Peebles, L. E. Pope; Thin Solid Films, 173, 19 (1989)
• 4) 岡本康治, 上条栄治; 真空, 30, 786 (1987)
• 5) 西田典秀, 岡田光正, 本田和男, 川崎仁士, 細川智生; 表面技術, 40, 753 (1989)

Terms in the title (2)： TiN膜 ,  摩耗