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J-GLOBAL ID：200902005479586636   Reference number：84A0195323

圧電素子アクチュエータ微動機構を備えた超精密X-Y移動台

Author (3)： MORIYAMA SHIGEO (日立) ,  HARADA TATSUO (日立) ,  TAKANASHI AKIHIRO (日立)
Material： 精密機械  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 50  Issue： 4  Page： 718-723  Publication year： Apr. 1984 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0374-3543  CODEN： SEKIA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： piezoelectric device ,...

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JST classification (1)： Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z)

Reference (4)：

• 1) D. S. Alles : Step & Repeat Camera, The Bell System Tech. J., 49, 9, (1970) 2145.
• 2) 井戸 敏ほか : EB-52電子ビーム露光装置の試料移動機構, 昭和53年度精機学会秋季大会学術講演会前刷 (1978) 403.
• 3) 森山茂夫ほか : 高速XY移動台の試作, 昭和54年度精機学会秋季大会学術講演会前刷 (1979) 309.
• 4) J. M. Paros and L. Weisbord : How to design Flexure Hinges, Machine Design, 37, (1965) 151.

Terms in the title (5)： 圧電素子 ,  アクチュエータ ,  微動 ,  超精密 ,  移動台