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J-GLOBAL ID:200902019126976652   Reference number:87A0359179

Belt drive of linear air slide. (1st report) Straight motion accuracy.

静圧直線案内のベルト駆動 I 直線運動精度
Author (4):
Material:
Volume: 53  Issue:Page: 915-920  Publication year: Jun. 1987 
JST Material Number: F0268A  ISSN: 0912-0289  Document type: Article
Article type: 原著論文  Country of issue: Japan (JPN)  Language: JAPANESE (JA)
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Reference (5):
  • 1) 近藤弥太郎, 森田 修, 加藤重雄, 宮田登利蔵 : 静圧空気軸受方式平面研削盤の開発, 昭和52年度精機学会春季大会学術講演会講演論文集(1977) 195.
  • 2) 井上 勇, 芝野正行, 西脇青児, 米沢武敏 : 開ループ補正制御静圧空気案内形XYテーブル, 昭和58年度精機学会春季大会学術講演会講演論文集(1983) 807.
  • 3) 田中克敏 : 空気軸受と超精密加工, 機械の研究, 34, 12(1982) 1304.
  • 4) 小林 功, 稲崎一郎, 青山藤詞郎, 伊庭剛二 : 全静圧空気潤滑テーブルシステムの開発, 日本機械学会論文集(C) 51, 7 (1985) 1647.
  • 5) 古川勇二, 水兼正博, 田中克明 : 摩擦駆動方式による精密位置決め機構, 昭和58年度精機学会春季大会学術講演会講演論文集(1983) 469.
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