Art

J-GLOBAL ID：200902026015258587   Reference number：88A0101828

Computer simulation of thin amorphous Si films on crystalline Si substrates.

結晶性Si基板上での非晶質Si薄膜の計算機シミュレーション

Author (3)： ERKOC S (Middle-East Technical Univ., Ankara, TUR) ,  HALICIOGLU T (Stanford Univ., CA, USA) ,  TILLER W A (Stanford Univ., CA, USA)
Material： Journal of Non-Crystalline Solids  (J Non-Cryst Solid)
Volume： 94  Issue： 1  Page： 28-35  Publication year： Oct. 1987 
JST Material Number： D0642A  ISSN： 0022-3093  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon ,...

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JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Structure of amorphous semiconductors  (BK04030O)

Terms in the title (5)： 結晶性 ,  Si基板 ,  非晶質 ,  Si薄膜 ,  計算機シミュレーション