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J-GLOBAL ID：200902027701790160   Reference number：90A0679838

Optical spectroscopic study of inverted cylindrical magnetron sputtering of YBa₂Cu₃O_7-x.

YBa₂Cu₃O_7-xの逆円筒形マグネトロンスパッタリングの可視分光研究

Author (9)： XI X X (Rutgers Univ., New Jersey) ,  WU X D (Rutgers Univ., New Jersey) ,  INAM A (Rutgers Univ., New Jersey) ,  LI Q (Rutgers Univ., New Jersey) ,  HEMMICK D (Rutgers Univ., New Jersey) ,  FINDIKOGLU A (Rutgers Univ., New Jersey) ,  VENKATESAN T (Bellcore, New Jersey) ,  CHANG C C (Bellcore, New Jersey) ,  HOWARD R (EG&G Princeton Applied Research, New Jersey)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 57  Issue： 1  Page： 96-98  Publication year： Jul. 02, 1990 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： superconductor ,...

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JST classification (2)： 超伝導状態の性質一般【’81~’92】  (BM04020J) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (3)： マグネトロンスパッタリング ,  可視分光 ,  研究