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J-GLOBAL ID:200902030390191217   Reference number:87A0158490

Ultra high precise micro groving.

微細溝の超精密切削加工
Author (2):
Material:
Volume: 52  Issue: 12  Page: 2016-2019  Publication year: Dec. 1986 
JST Material Number: F0268A  ISSN: 0912-0289  Document type: Article
Article type: 解説  Country of issue: Japan (JPN)  Language: JAPANESE (JA)
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Turning,boring 
Reference (12):
  • 1) 上田勝宣ほか : ダイヤモンド工具による微細溝の高精度切削加工(第2報), 昭和61年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(1986)377.
  • 2) 大塚泰弘 : ダイヤモンド工具による微細溝加工, 昭和60年度精機学会春季大会学術講演会講演論文集(1985)869.
  • 3) 藤田輝雄ほか : 電子ビーム描画作製によるブレーズ化マイクロフレネルレンズ, 電子通信学会論文誌, J66-C, 1(1983)85.
  • 4) 塩野照弘ほか : 高効率構造マイクロフレネルレンズアレイ, 昭和60年度秋期第46回応用物理学会学術講演会予稿集(1985)106.
  • 5) 末光尚志ほか : マイクロフレネルレンズによるCD用対物レンズの製作(I), 昭和61年度春季第33回応用物理学関係連合講演会予稿集(1986)113.
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