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J-GLOBAL ID：200902003953852552   Reference number：83A0183619

電子ビーム描画作製によるブレーズ化マイクロフレネルレンズ

Author (3)： FUJITA TERUO (大阪大工) ,  NISHIHARA HIROSHI (大阪大工) ,  KOYAMA JIRO (大阪大工)
Material： 電子通信学会論文誌 C  (Transactions of the Institute of Electronics and Communication Engineers of Japan. C)
Volume： 66  Issue： 1  Page： 85-91  Publication year： Jan. 1983 
JST Material Number： S0623A  ISSN： 0373-6113  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： Fresnel lens ,...

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JST classification (1)： Optical devices in general  (BD06010L)

Terms in the title (4)： 電子ビーム描画 ,  作製 ,  マイクロ ,  フレネルレンズ