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J-GLOBAL ID：200902033311869806   Reference number：84A0324067

光学式非接触プローブの研究

Author (2)： SHIMOKOBE AKIRA (東京工大精密工研) ,  OSADA HIDEHARU (東京工大精密工研)
Material： 精密機械  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 50  Issue： 7  Page： 1123-1129  Publication year： Jul. 1984 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0374-3543  CODEN： SEKIA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： optical measurement ,...
Semi thesaurus term： transducer

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (5)：

• 1) 田部井 誠, 上田光宏 : レーザ光と1次元イメージセンサを用いた表面形状測定装置の試作, 光学, 11, 6(1982)173.
• 2) 例えば, 非接触光学変位計"オプトケータ", セレクティブエレクトロニクス社カタログ.
• 3) J. R. Vyce : An Optical Noncontacting Surface Sensor, Appl. Opt., 8, 11, (1969) 2301.
• 4) 例えば, フォトニックセンサ, メカニカルテクノロジー社カタログ.
• 5) 例えば, レーザ干渉システム, ヒューレットパッカード社カタログ.

Terms in the title (4)： 光学 ,  非接触 ,  プローブ ,  研究