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J-GLOBAL ID：200902039446924309   Reference number：92A0400605

AFMによる微細形状測定 (第1報) 単粒研削条痕の観察

Author (4)： UCHIDA TADASHI (千葉大 大学院) ,  GO TOKEN (千葉大 大学院) ,  YOSHIDA YOSHITARO (千葉大 工) ,  TSUDA NORIHIRO (計量研)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1992  Issue： Spring 1  Page： 407-408  Publication year： Mar. 1992 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： AFM ,  微細形状 ,  研削 ,  条痕 ,  観察