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J-GLOBAL ID：200902041038370928   Reference number：87A0486812

Particle sizing uncertainties in laser scanning of silicon wafers. Calibration/evaluation of the Aeronca wafer inspection system 150.

シリコンウエハのレーザ走査における粒子サイズ測定の不確定性 Aeroncaウエハ検査システム150の校正/評価

Author (2)： LOCKE B R (Research Triangle Inst., NC, USA) ,  DONOVAN R P (Research Triangle Inst., NC, USA)
Material： Journal of the Electrochemical Society  (J Electrochem Soc)
Volume： 134  Issue： 7  Page： 1763-1771  Publication year： Jul. 1987 
JST Material Number： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon ,...

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JST classification (1)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Terms in the title (8)： シリコンウエハ ,  レーザ走査 ,  粒子サイズ測定 ,  不確定性 ,  ウエハ ,  検査システム ,  校正 ,  評価